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大范圍壓電掃描臺(tái)Carrier.S200.XY

  • 產(chǎn)品型號(hào)：
  • 產(chǎn)品時(shí)間：2024-05-21
  • 簡要描述：室溫 ·壓電運(yùn)動(dòng)?案 —“Carrier. 系列“ ??程掃描載物臺(tái) — 精密光學(xué)，半導(dǎo)體表征
  • 產(chǎn)品介紹

室溫 ·壓電運(yùn)動(dòng)?案 —“Carrier. 系列“ ??程掃描載物臺(tái) — 精密光學(xué)，半導(dǎo)體表征


?范圍壓電掃描臺(tái)Carrier.S200.XY產(chǎn)品特?

• 兩維度XY 掃描運(yùn)動(dòng) 200 um × 200 um；

• 閉環(huán)定位精度優(yōu)于 1nm；

• 最?負(fù)載 500 g；

• 針對(duì)光學(xué)顯微鏡-超分辨定制化解決?案；

• ?持?磁( .NM)和?真空( .UHV)選件升級(jí)


Carrier.S200.XY ?范圍壓電掃描臺(tái) — 技術(shù)參數(shù)
 

可選版本 ?

正常版本

.NM     絕對(duì)?磁版本；

.HV，     ?真空版本 ;

.UHV ，超?真空版本；

1           底?尺?*?度

180 mm × 150 mm × 20 mm

2           主體材料

鋁合?

3            中空透孔

80 mm × 60 mm

4           運(yùn)動(dòng)?程

200 um × 200 um

5            閉環(huán)分辨率

優(yōu)于1nm

6           推薦最?負(fù)載

500 g

7            閉環(huán)傳感器

電容式

8            電容精度

0.3 nm

9           壓電電容(X, Y)

6.5 uF

15 到 40 攝?度

10          推薦使?溫度

11          質(zhì)量

1 kg

12          安裝

螺紋孔?動(dòng)兼容 Carrier.L7550.XY

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